核心模块
core modules
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精密运动控制平台机构 -
精密伺服先进控制算法 -
运控核心部件开发 -
系统标定与误差补偿技术
精密运动控制平台机构
开发了具有完全自主知识产权的精密运动控制平台，攻克高精度位移台有限元优化设计、高精度位移传感器、制造组装工艺、测试校准等关键技术，最优±100nm的平台重复定位精度，±0.5nm的平台位置保持稳定性。
精密伺服先进控制算法
采用模糊PID控制、自适应控制、滑模变结构控制等先进算法，实现更高的精度、更快的响应速度，最快整定时间小于10ms。
运控核心部件开发
开发了NCS刀具非接触测量及FDC激光切割精密随动系统等核心部件，系统重复及跟随精度达±1μm。
系统标定与误差补偿技术
运用前馈控制、温度补偿等软硬件补偿技术对测量得到的传递行数、非线性值等输出信息进行调整，提高系统准确性和稳定性。
特色功能
Featured Functions
高精度定位
实现微米甚至纳米级的位置控制精度，通过精确的轨迹规划算法，确保按照预定路径平滑移动。
平滑运动
通过主动减震算法减少振动和冲击，在接触敏感表面时能够自动调节力度，避免损坏产品。
多轴协调控制
通过对各个轴线的脉冲输出进行精确控制，使各轴的运动速度和位置能够按照预定的轨迹和速度同步进行，实现复杂的三维运动。
智能诊断与维护
通过网络进行系统状态的监控，可以预测潜在的故障并进行诊断与支持。
应用场景
Application scenarios
集成电路
晶圆处理：包括晶圆切割、晶圆搬运
晶圆检测：从宏观和微观角度，对有图案晶圆进行外观缺陷检测及3D测量
生命健康
微量液体处理，例如生物化学分析中微量液体分配
自动样品处理
高精度测量
高分辨率显微镜物镜定位及样本移动
工业自动化
大型自动化物流仓储系统的高速搬运
镜头、光纤连接器等微小零件的精密组装
