激光切割机

Laser Dicing Machine

SL系列激光切割机,是基于Sapphire的材料特性,适配先进光学工艺设计,开发出高精度、高效率的激光加工设备,可实现对多种商业显示、背光显示类MiniLED的高效、高良率切割,并可实现对不同晶圆版型排列的兼容。

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产品介绍

product introduction

激光切割机 MRS-SL161

激光切割机
MRS-SL161

镁伽MRS-SL系列激光切割机是基于Sapphire材料特性,通过运用激光内聚焦切割工艺原理,开发出的高精度、高效率的精密加工设备。产品基于镁伽InteVega框架及视觉技术平台研发,包含自动轮廓识别、自动水平校正、自动设置基准点、自动调焦等功能。整机设计为一键式启动,自动读取条码调档,全自动加工设备,并集成生产信息统计、稼动率统计以及数据上抛等晶圆制程产线规范要求的多种功能。

产品特点

Product Features

兼容性强

支持4/6寸MiniLED&普通LED晶圆片

高精度运动平台

切割速度高达1000mm/s,高速运动波动性<1%

一键式自动化生产

集成卡夹上下料,自动水平校正、自动调焦、自动修正及生产信息统计等

切割精准度高

携带FDC焦点深度控制系统,实时调整切割位置,可适应±15μm片厚误差

行业工艺领先

应用灵活,可根据材料的不同厚度,选配多光点切割技术

交互界面友好

人性化交互界面,易操作易培训

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