先进光学

MegaOptics

镁伽先进光学采用创新的光学原理、材料和系统设计,以实现对物体的高分辨率、高灵敏度、快速动态检测。采用亚纳米级先进光学叠加人工智能,赋能集成电路制造良率管理。

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技术优势

Core Technology

高分辨显微光学镜头设计与仿真
白光干涉对焦技术

实现0.25nm超高精度的晶圆光刻后套刻误差量测,支持28nm/14nm制程工艺。

深紫外-193nm弱信号探测技术

实现最小检出颗粒20nm的晶圆无图形缺陷检测,支持28nm/14nm制程工艺。

光谱共焦技术

实现3D显微成像,凸块高度量测精度0.1μm,支持先进封装2.5D/3D制程工艺。

核心模块

core modules

  • 光源系统
  • 光学成像系统
  • 检测与传感器系统
  • 图像处理与分析软件

光源系统

提供不同波长、稳定性高、光功率可调的光源系统,可用于高分辨率光学检测,适用先进制程中不同工艺 。

光学成像系统

高精度、高数值孔径的物镜用于实现高分辨率成像。

检测与传感器系统

低噪声、高信噪比探测器用于捕捉光学图像,检测光学信号变化。

图像处理与分析软件

用于图像增强、分割、识别、量化等,包含各种算法,如边缘检测、特征提取、机器学习等。配套数据分析软件可以自动收集、处理和分析生产数据,提高生产效率等。

特色功能

Featured Functions

高分辨率成像

采用先进的成像技术,实现纳米级别的分辨率,有效提高电子器件的检测精度。

多维度检测

通过多波长、多角度、多偏振态的光学检测手段,全面揭示电子器件的内部结构和性能。

高速数据处理

结合强大的计算能力,实现光信号的高速采集、处理与分析,大幅提升检测效率。

自动化与集成

集成到自动化生产线中,实现自动对焦、自动校准和自动缺陷识别等功能。

智能化分析

运用人工智能算法,对检测数据进行深度分析,为客户提供精确的检测结果和优化建议。

应用场景

Application scenarios

检测

针对复杂背景、低对比度缺陷检出能力全面,覆盖划痕、裂纹、隐裂、异物、脏污、缺失等全场景工业缺陷检测需求,擅长解决小样本检测难题,适合多批次、小批量柔性生产场景。

量测

可对晶圆电路上的结构尺寸、材料特性等做出量化描述,如薄膜厚度、关键尺寸、刻蚀深度、表面形貌等物理性参数量测。

生物监测

可使用光学成像,如共聚焦显微镜、光学相干断层扫描等,用于细胞和组织成像。

行业应用

Industry applications