先进光学
MegaOptics
镁伽先进光学采用创新的光学原理、材料和系统设计，以实现对物体的高分辨率、高灵敏度、快速动态检测。采用亚纳米级先进光学叠加人工智能，赋能集成电路制造良率管理。
技术优势
Core Technology
高分辨显微光学镜头设计与仿真
白光干涉对焦技术
实现0.25nm超高精度的晶圆光刻后套刻误差量测，支持28nm/14nm制程工艺。
深紫外-193nm弱信号探测技术
实现最小检出颗粒20nm的晶圆无图形缺陷检测，支持28nm/14nm制程工艺。
光谱共焦技术
实现3D显微成像，凸块高度量测精度0.1μm，支持2.5D/3D制程工艺。
核心模块
core modules
-
光源系统 -
光学成像系统 -
检测与传感器系统 -
图像处理与分析软件
光源系统
提供不同波长、稳定性高、光功率可调的光源系统，可用于高分辨率光学检测，适用先进制程中不同工艺 。
光学成像系统
高精度、高数值孔径的物镜用于实现高分辨率成像。
检测与传感器系统
低噪声、高信噪比探测器用于捕捉光学图像，检测光学信号变化。
图像处理与分析软件
用于图像增强、分割、识别、量化等，包含各种算法，如边缘检测、特征提取、机器学习等。配套数据分析软件可以自动收集、处理和分析生产数据，提高生产效率等。
特色功能
Featured Functions
高分辨率成像
采用先进的成像技术，实现纳米级别的分辨率，有效提高电子器件的检测精度。
多维度检测
通过多波长、多角度、多偏振态的光学检测手段，全面揭示电子器件的内部结构和性能。
高速数据处理
结合强大的计算能力，实现光信号的高速采集、处理与分析，大幅提升检测效率。
自动化与集成
集成到自动化生产线中，实现自动对焦、自动校准和自动缺陷识别等功能。
智能化分析
运用人工智能算法，对检测数据进行深度分析，为客户提供精确的检测结果和优化建议。
应用场景
Application scenarios
检测
针对复杂背景、低对比度缺陷检出能力全面，覆盖划痕、裂纹、隐裂、异物、脏污、缺失等全场景工业缺陷检测需求，擅长解决小样本检测难题，适合多批次、小批量柔性生产场景。
量测
可对晶圆电路上的结构尺寸、材料特性等做出量化描述，如薄膜厚度、关键尺寸、刻蚀深度、表面形貌等物理性参数量测。
生物监测
可使用光学成像，如共聚焦显微镜、光学相干断层扫描等，用于细胞和组织成像。
