Mini/Micro LED Overlay量测设备
Mini/Micro LED Overlay Metrology Tool
套刻误差是指在集成电路制造工艺中，不同层图形之间的相对位置偏差。在硅基OLED（MicroOLED）的制造过程中，每一层图形的曝光都需要与前一层图形精确对准，以确保电路连接的可靠性和功能实现。硅基OLED制造工艺中的套刻误差是一个关键的技术参数，它直接关系到产品的质量和性能。通过采用高精度套刻误差量测设备和对准修正软件等措施，可以有效地控制套刻误差，提高产品的良品率和性能。
产品介绍
product introduction
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MRS-OM40
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MRS-OM100
全自动Overlay量测设备 MRS-OM40
全自动Overlay量测设备
MRS-OM40
产品特点
Product Features
配置宽光谱照明系统，支持单面、双面以及内部 Overlay 量测方式，支持 Frame-in-Frame、Circle-in-Circle、Cross-in-Cross或任何其他自定义 Mark
支持 SECS/GEM 接口协议，可远程实现设备监控运维
量测重复性精度 (3σ)：单面≤5nm，双面≤90nm
单面、双面均可配置多点量测，产能 ≥ 30WPH
全自动Overlay量测设备 MRS-OM100
全自动Overlay量测设备
MRS-OM100
产品特点
Product Features
配置宽光谱照明系统，支持单面 Overlay 量测方式，支持 Frame-in-Frame、Circle-in-Circle、Cross-in-Cross、AIM或任何其他自定义 Mark
支持 SECS/GEM 接口协议，可远程实现设备监控运维
量测重复性精度 (3σ)：≤1.5nm
可配置多点量测，产能 ≥ 120WPH
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